Litografické techniky

V podstate, sú len dve techniky ktoré sa aktuálne používajú na kreslenie vzoriek na zariadenia (devices), a to fotolitografia a priame zapisovanie pomocou elektrónového lúča. Existujú aj iné neoptické procedúry, najmä röntgenová litografia, ktorá sa používa na mikroobrábanie mikroštruktúr s vysokým pomerom strán. Fotolitografia sa koná pri exponovaní odporovej vrstvy pomocou UV svetla cez masku. Obyčajne, maska je umiestnená v tesnej blízkosti k doštičke pre zarovnanie.